[发明专利]电子束装置在审
| 申请号： | 201880096799.5 | 申请日： | 2018-09-11 |
| 公开（公告）号： | CN112602164A | 公开（公告）日： | 2021-04-02 |
| 发明（设计）人： | 庄子美南;津野夏规;扬村寿英 | 申请（专利权）人： | 株式会社日立高新技术 |
| 主分类号： | H01J37/28 | 分类号： | H01J37/28 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 韩丁 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： |
提供一种能够以高灵敏度得到反映了试样的电子状态的对比度的电子束装置。电子束装置(1)具有：电子光学系统，向试样照射电子束，对从试样释放的释放电子进行检测；光脉冲照射系统，向试样照射光脉冲；同步处理部(17)，在电子光学系统中，与电子束的偏转信号同步地，进行释放电子的检测采样；图像信号处理部(18)，根据基于电子光学系统所检测的释放电子而输出的检测信号来形成图像；和装置控制部(19)，设定电子光学系统的控制条件，若将电子束扫描相当于图像的一个像素的试样的区域所需的时间设为单位像素时间t |
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| 搜索关键词： | 电子束 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
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