[发明专利]电子显微镜有效
| 申请号： | 201880091817.0 | 申请日： | 2018-04-02 |
| 公开（公告）号： | CN111919277B | 公开（公告）日： | 2023-08-01 |
| 发明（设计）人： | 长冲功;田村圭司;野寺康行 | 申请（专利权）人： | 株式会社日立高新技术 |
| 主分类号： | H01J37/244 | 分类号： | H01J37/244;G01T1/20 |
| 代理公司： | 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 | 代理人： | 曾贤伟;范胜杰 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 电子枪(1)照射电子束，具备闪烁器的照相机检测通过该电子束的照射而从样本产生的信号，并拍摄透射像。电流读入端子测量发向闪烁器的信号的电流值，电子束密度计算部(483)根据测量出的电流值和闪烁器的面积来计算电子束密度，输出控制部(485)进行使用与计算出的电子束密度有关的信息的输出控制。这样，电子显微镜测量发向照相机的闪烁器的信号的电流值，根据该电流值和闪烁器的面积来计算电子束密度，因此能够计算出能确定电子束对样本的影响的信息。 | ||
| 搜索关键词： | 电子显微镜 | ||
【主权项】：
暂无信息
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