[发明专利]电子显微镜

说明书

电子枪(1)照射电子束，具备闪烁器的照相机检测通过该电子束的照射而从样本产生的信号，并拍摄透射像。电流读入端子测量发向闪烁器的信号的电流值，电子束密度计算部(483)根据测量出的电流值和闪烁器的面积来计算电子束密度，输出控制部(485)进行使用与计算出的电子束密度有关的信息的输出控制。这样，电子显微镜测量发向照相机的闪烁器的信号的电流值，根据该电流值和闪烁器的面积来计算电子束密度，因此能够计算出能确定电子束对样本的影响的信息。

技术领域

本发明涉及电子显微镜。

背景技术

在向样本照射电子束的电子显微镜中，有时测量该电子束的电流值(例如专利文献1)。专利文献1记载的电子显微镜具备：能量滤波器，其使电子束的光路产生偏转电场，使该电子束与能量对应地散射。该电子显微镜基于被相对于样本的位置而位于上部的狭缝板吸收的电子束的电流值，控制该能量滤波器的偏转电场的强度。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2016-39119号公报

发明内容

发明要解决的问题

在上述专利文献1公开的技术中，测定电子束照射到样本之前的电流值，无法适当地确定该电子束对样本的影响(损害)。

本发明的目的在于：提供能够适当地确定电子束对样本的影响的电子显微镜。

根据本说明书的记载和附图能够了解本发明的上述以及其他目的和新的特征。

解决方案

作为用于解决上述问题的方法，使用技术方案所记载的技术。

如果列举一个例子，是一种向样本照射电子束的电子显微镜，其具备：照射部，其照射电子束；透射像拍摄部，其具备第一荧光体，检测因基于照射部的电子束的照射而从样本产生的信号，并拍摄透射像；电流值测量部，其测量发向透射像拍摄部的第一荧光体的信号的电流值；电子束密度计算部，其基于由电流值测量部测量出的电流值和第一荧光体的面积来计算电子束密度；控制部，其使用与由电子束密度计算部计算出的电子束密度有关的信息进行输出控制。

发明效果

通过使用本发明的技术，能够适当地确定电子束对样本的影响。

附图说明

图1是针对本实施方式的电子显微镜的结构例表示概要的图。

图2是照相机的凸缘部分的侧面剖视图。

图3是表示照相机控制部的功能模块的图。

图4是表示恰当电子密度输入画面的例子的图。

图5是表示电子束密度显示画面的显示例的图。

图6是表示电子束密度显示区域的详情的图。

图7是表示电子显微镜显示基于由照相机的闪烁器测量出的电流值的电子束密度的处理的流程图。

图8是表示判断计算出的电子束密度是否脱离恰当电子束密度所示的范围并显示其结果的处理的流程图。

图9是表示根据判断计算出的电子束密度是否脱离恰当电子束密度的范围的结果而使光点尺寸缩小的处理的流程图。

图10是表示测量各光点尺寸的电流值所得的结果的图。

具体实施方式

以下，使用附图说明本发明的实施方式的例子。