[发明专利]激光腔、密封部件的制造方法和电子器件的制造方法有效
| 申请号： | 201880090669.0 | 申请日： | 2018-04-23 |
| 公开（公告）号： | CN111801854B | 公开（公告）日： | 2022-10-21 |
| 发明（设计）人： | 三木正晴 | 申请（专利权）人： | 极光先进雷射株式会社 |
| 主分类号： | H01S3/02 | 分类号： | H01S3/02;H01S3/225 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人： | 于英慧;崔成哲 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 准分子激光装置的激光腔具有：容器，其包含第1部件和第2部件，在内部收纳激光气体；以及密封部件，其被配置于所述第1部件与所述第2部件的对置的2个密封面之间，所述密封部件的激光气体侧的表面由氟橡胶构成，所述密封部件的大气侧的表面由抑制大气透过的膜构成。 | ||
| 搜索关键词： | 激光 密封 部件 制造 方法 电子器件 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于极光先进雷射株式会社，未经极光先进雷射株式会社许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201880090669.0/，转载请声明来源钻瓜专利网。
