[发明专利]具有三氮烯配体的金属络合物及其从气相沉积金属的用途在审
| 申请号： | 201880089213.2 | 申请日： | 2018-12-12 |
| 公开（公告）号： | CN111712506A | 公开（公告）日： | 2020-09-25 |
| 发明（设计）人： | J·松德迈尔;S·普尔茨;F·施罗德 | 申请（专利权）人： | 优美科股份公司及两合公司 |
| 主分类号： | C07F17/02 | 分类号： | C07F17/02;C07F5/00;C07F5/06;C23C16/00;C30B25/00;C07C245/24;C23C16/18 |
| 代理公司： | 中国贸促会专利商标事务所有限公司 11038 | 代理人： | 刘学媛 |
| 地址： | 德国哈瑙*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： |
本发明涉及金属络合物用于从气相沉积所述金属或所述金属的化合物的用途，所述金属络合物具有至少一个式R |
||
| 搜索关键词： | 具有 三氮烯配体 金属 络合物 及其 沉积 用途 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于优美科股份公司及两合公司，未经优美科股份公司及两合公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201880089213.2/，转载请声明来源钻瓜专利网。
