[发明专利]具有三氮烯配体的金属络合物及其从气相沉积金属的用途

权利要求书

1.金属络合物用于从气相沉积所述金属或所述金属的化合物的用途，所述金属络合物具有至少一个具有式R¹-N₃-R²的配体L，其中R¹和R²为烃基团。

2.根据权利要求1所述的用途，其中所述金属络合物具有至少一个具有式R¹-N₃-R²的配体L和至少一个选自H、卤素、CO和烃配体的另外的配体X。

3.根据前述权利要求中至少一项所述的用途，其中所述金属络合物具有至少一个具有式R¹-N₃-R²的配体L，其中R¹和R²为烷基基团。

4.根据前述权利要求中至少一项所述的用途，其中所述金属络合物具有式(1)：

M_x[(L¹)_a(L²)_b(L³)_cX_d] (1)

其中

所述配体L，即L¹、L²和L³，彼此独立地选自式R¹-N₃-R²的基团，

其中R¹和R²为烃基团，

其中至少对于L¹，所述基团R¹和R²为烷基基团，

X独立地选自H、卤素、CO和烃配体，

X为1和4之间的整数，

a、b、c和d为整数，其中

a+b+c+d之和为至少x并且不大于12，

a为至少1，并且

b、c和d可等于0。

5.根据前述权利要求中至少一项所述的用途，其中所述金属络合物是均配的并且仅具有式R¹-N₃-R²的配体L。

6.根据前述权利要求中至少一项所述的用途，其中所述金属络合物是杂配的。

7.根据前述权利要求中至少一项所述的用途，其中所述基团R¹和R²彼此独立地具有1至30个C原子。

8.根据前述权利要求中至少一项所述的用途，其中所述金属络合物的所有R¹和R²基团都是烷基基团。

9.根据权利要求8所述的用途，其中所述R¹和R²基团独立地具有1至15个C原子。

10.根据权利要求8或9所述的用途，其中所述R¹和/或R²基团的全部或部分是支链的和/或环状烷基基团。

11.根据权利要求10的用途，其中所述R¹和/或R²基团的全部或部分是叔丁基。

12.根据前述权利要求中至少一项所述的用途，其中所述金属络合物具有至少一个配体L，所述配体L为叔丁基-N₃-叔丁基或叔丁基-N₃-甲基。

13.根据权利要求12所述的用途，其中所述金属络合物的所有配体L为叔丁基-N₃-叔丁基或叔丁基-N₃-甲基。