[发明专利]用于检测对集成电路的损伤的装置和方法在审
申请号: | 201880088789.7 | 申请日: | 2018-12-07 |
公开(公告)号: | CN111684290A | 公开(公告)日: | 2020-09-18 |
发明(设计)人: | V·翰纳瑟卡兰;Q·周;L·K-A·马特 | 申请(专利权)人: | 高通股份有限公司 |
主分类号: | G01R31/28 | 分类号: | G01R31/28;H01L21/66;H01L23/58 |
代理公司: | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人: | 汪威;唐杰敏 |
地址: | 美国加利*** | 国省代码: | 暂无信息 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 各种特征涉及包括集成电路的试环。该试环位于该集成电路的周边周围。该试环包括第一端子、第二端子和第一电路元件,其中第一端子耦合到第一电路元件,并且第一电路元件耦合到第二端子,其中第一端子、第一电路元件和第二端子串联耦合在一起。 | ||
搜索关键词: | 用于 检测 集成电路 损伤 装置 方法 | ||
【主权项】:
暂无信息
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