[发明专利]用于沉积蒸发材料的沉积设备及其方法在审
| 申请号： | 201880088646.6 | 申请日： | 2018-02-05 |
| 公开（公告）号： | CN111684103A | 公开（公告）日： | 2020-09-18 |
| 发明（设计）人： | 托马斯·德皮希;克莱尔·阿姆斯特朗;弗兰克·施纳彭伯格 | 申请（专利权）人： | 应用材料公司 |
| 主分类号： | C23C14/56 | 分类号： | C23C14/56;C23C14/24;C23C14/54 |
| 代理公司： | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 | 代理人： | 徐金国;赵静 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 描述了一种用于将蒸发材料沉积到基板(101)上的沉积设备(100)。沉积设备包括：沉积源(110)，所述沉积源(110)用于提供蒸发材料；材料沉积区(111)，所述材料沉积区(111)提供在所述沉积源(110)和所述基板(101)之间；可动挡板(120)，所述可动挡板(120)提供在所述材料沉积区(111)中；和沉积速率测量装置(130)，所述沉积速率测量装置(130)提供在所述沉积源(110)和所述可动挡板(120)之间的所述材料沉积区(111)中。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 沉积 蒸发 材料 设备 及其 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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