[发明专利]用于沉积蒸发材料的沉积设备及其方法

权利要求书

1.一种用于将蒸发材料沉积到基板(101)上的沉积设备(100)，包括：

-沉积源(110)，所述沉积源(110)用于提供蒸发材料；

-材料沉积区(111)，所述材料沉积区(111)提供在所述沉积源(110)和所述基板(101)之间；

-可动挡板(120)，所述可动挡板(120)提供在所述材料沉积区(111)中；和

-沉积速率测量装置(130)，所述沉积速率测量装置(130)提供在所述沉积源(110)和所述可动挡板(120)之间的所述材料沉积区(111)中。

2.如权利要求1所述的沉积设备(100)，其中所述可动挡板(120)在阻挡位置和非阻挡位置(122)之间可移动。

3.如权利要求2所述的沉积设备(100)，其中所述阻挡位置是防止蒸发材料沉积到所述基板上的第一位置(P1)，并且其中所述非阻挡位置是允许蒸发材料沉积到所述基板上的第二位置(P2)。

4.如权利要求1至3中任一项所述的沉积设备(100)，其中所述沉积速率测量装置(130)被布置在所述材料沉积区(111)的边缘区域(111E)中。

5.如权利要求1至4中任一项所述的沉积设备(100)，其中所述沉积速率测量装置(130)包括用于测量沉积速率的振荡晶体(131)。

6.如权利要求5所述的沉积设备(100)，其中所述沉积速率测量装置(130)被布置为使得所述振荡晶体(131)的检测表面(132)被定向为垂直于所述沉积源的蒸发方向。

7.如权利要求1至6中任一项所述的沉积设备(100)，包括在所述沉积源(110)和所述沉积速率测量装置(130)之间的所述材料沉积区(111)中提供的另一可动挡板(140)。

8.如权利要求1至7中任一项所述的沉积设备(100)，其中所述另一可动挡板(140)在另一阻挡位置(P3)和另一非阻挡位置(P4)之间可移动，所述另一阻挡位置(P3)防止蒸发材料沉积到所述沉积速率测量装置(130)上，并且所述另一非阻挡位置(P4)允许蒸发材料由所述沉积速率测量装置(130)所检测。

9.如权利要求1至8中任一项所述的沉积设备(100)，其中所述可动挡板(120)包括热保护屏蔽件(121)和/或热元件(122)。

10.如权利要求7至9中任一项所述的沉积设备(100)，其中所述另一可动挡板(140)包括另一热保护屏蔽件(141)和/或另一热元件(142)。

11.如权利要求1至9中任一项所述的沉积设备(100)，其中所述基板是柔性基板，并且其中所述沉积设备进一步包括用于运输所述柔性基板的至少一个辊。

12.一种用于将蒸发材料沉积到基板(101)上的沉积设备(100)，包括：

-沉积源(110)，所述沉积源(110)用于提供蒸发材料；

-材料沉积区(111)，所述材料沉积区(111)提供在所述沉积源(110)和所述基板(101)之间；

-沉积速率测量装置(130)，所述沉积速率测量装置(130)提供在所述材料沉积区(111)中；和

-可动挡板(120)，所述可动挡板(120)提供在所述材料沉积区(111)中；其中所述可动挡板被配置以在第一位置(T1)、第二位置(T2)和第三位置(T3)中移动，其中所述第一位置(T1)是其中蒸发材料被阻止沉积在所述基板(101)上以及被阻止沉积在所述沉积速率测量装置(130)上的位置，

其中所述第二位置(T2)是其中蒸发材料被阻止沉积在所述基板(101)上以及被允许沉积在所述沉积速率测量装置(130)上的位置，并且

其中所述第三位置(T3)是其中蒸发材料被允许沉积在所述基板(101)上以及被允许沉积在所述沉积速率测量装置(130)上的位置。