[发明专利]输送系统的控制方法、输送系统以及管理装置有效
申请号: | 201880085970.2 | 申请日: | 2018-12-18 |
公开(公告)号: | CN111566023B | 公开(公告)日: | 2021-10-22 |
发明(设计)人: | 北村亘;桑原哲也 | 申请(专利权)人: | 村田机械株式会社 |
主分类号: | B65G1/04 | 分类号: | B65G1/04 |
代理公司: | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人: | 舒艳君;田军锋 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 输送系统(2)的控制方法包括:多个输送台车(6)中的特定的输送台车(6)将特定的移载位置信息发送至管理装置(18)的步骤;管理装置(18)从对应信息提取与从特定的输送台车(6)接收到的特定的移载位置信息对应的特定的通信设备目的地信息,并将提取出的特定的通信设备目的地信息发送到特定的输送台车(6)的步骤;以及特定的输送台车(6)利用从管理装置(18)接收到的特定的通信设备目的地信息,对于第一通信设备(14)以及第二通信设备(16)中的与第一半导体制造装置(10)连接的第一通信设备(14),执行用于在第一半导体制造装置(10)与特定的输送台车(6)之间移载FOUP(4)的通信的步骤。 | ||
搜索关键词: | 输送 系统 控制 方法 以及 管理 装置 | ||
【主权项】:
暂无信息
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