[发明专利]输送系统的控制方法、输送系统以及管理装置

说明书

输送系统(2)的控制方法包括：多个输送台车(6)中的特定的输送台车(6)将特定的移载位置信息发送至管理装置(18)的步骤；管理装置(18)从对应信息提取与从特定的输送台车(6)接收到的特定的移载位置信息对应的特定的通信设备目的地信息，并将提取出的特定的通信设备目的地信息发送到特定的输送台车(6)的步骤；以及特定的输送台车(6)利用从管理装置(18)接收到的特定的通信设备目的地信息，对于第一通信设备(14)以及第二通信设备(16)中的与第一半导体制造装置(10)连接的第一通信设备(14)，执行用于在第一半导体制造装置(10)与特定的输送台车(6)之间移载FOUP(4)的通信的步骤。

技术领域

本发明涉及输送系统的控制方法、输送系统以及管理装置。

背景技术

专利文献1中公开了具备用于输送储存有半导体晶圆的FOUP(Front OpeningUnified Pod：前开式晶圆传送盒)的高架行驶式的多个输送台车和用于处理半导体晶圆的多个半导体制造装置的半导体制造系统。

在多个半导体制造装置各个配置有1组通信设备以及无线接入点。另外，在多个半导体制造装置各个配置有用于载置FOUP的载置端口。通信设备经由并行电缆与载置端口连接，并且经由LAN(Local Area Network：局域网)电缆与无线接入点连接。

多个输送台车各个能够经由无线接入点与通信设备进行无线通信。输送台车在接近特定的半导体制造装置时，将用于开始用于在与该特定的半导体制造装置的载置端口之间移载FOUP的处理的消息信号发送至与该载置端口连接的通信设备。

专利文献1：日本特开2015－82574号公报

在上述的半导体制造系统中，输送台车在将消息信号发送至通信设备时，需要将通信设备的地址指定为发送目的地。然而，在例如半导体制造装置被追加、撤除或者变更等的情况下，通信设备的地址会被变更，产生多个输送台车中的每个输送台车中的通信设备的地址的管理变得繁琐这样的课题。

发明内容

本发明是鉴于这样的课题而完成的，其目的在于提供能够统一地管理通信设备目的地信息的输送系统的控制方法、输送系统以及管理装置。

为了实现上述目的，本发明的一方式所涉及的输送系统的控制方法是具备用于输送被输送物的多个输送台车、在与上述多个输送台车各个之间移载上述被输送物的多个移载装置、与上述多个移载装置分别连接的多个通信设备、以及管理上述多个通信设备的管理装置的输送系统的控制方法，上述多个输送台车各个具有第一存储部，该第一存储部存储表示上述多个移载装置中的特定的移载装置中的上述被输送物的移载位置的特定的移载位置信息，上述管理装置具有第二存储部，该第二存储部存储表示移载位置信息与通信设备目的地信息的对应关系的对应信息，上述移载位置信息表示上述多个移载装置各个中的上述被输送物的移载位置，上述通信设备目的地信息表示与该移载装置连接的上述通信设备的目的地，上述控制方法包括如下步骤：(a)上述多个输送台车中的特定的输送台车将上述特定的移载位置信息发送至上述管理装置；(b)上述管理装置从上述对应信息提取与从上述特定的输送台车接收到的上述特定的移载位置信息对应的特定的通信设备目的地信息，并将提取出的上述特定的通信设备目的地信息发送至上述特定的输送台车；以及(c)上述特定的输送台车利用从上述管理装置接收到的上述特定的通信设备目的地信息，对于上述多个通信设备中的与上述特定的移载装置连接的特定的通信设备，执行用于在上述特定的移载装置与上述特定的输送台车之间移载上述被输送物的通信。

根据本方式，管理装置存储表示移载位置信息与通信设备目的地信息的对应关系的对应信息，所以能够在管理装置中统一地管理通信设备目的地信息。其结果，即使是通过例如移载装置被追加、撤除或者变更等，而通信设备的通信设备目的地信息被变更的情况，也能够以较少的作业量容易地更新存储于管理装置的对应信息。