[发明专利]用于阻抗匹配网络控制的重新调谐有效
| 申请号： | 201880085338.8 | 申请日： | 2018-11-29 |
| 公开（公告）号： | CN111699542B | 公开（公告）日： | 2023-05-16 |
| 发明（设计）人： | 欧阳亮;丹尼尔·卡塔兰;安东尼·奥利蒂 | 申请（专利权）人： | 康姆艾德技术美国分公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32;H03H7/40 |
| 代理公司： | 北京高沃律师事务所 11569 | 代理人： | 崔玥 |
| 地址： | 美国加利福尼*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种物理气相沉积系统可包括RF发生器，该RF发生器被配置为经由RF匹配网络将交流工艺信号传输到物理气相沉积室。RF匹配网络的控制器被配置为接收直流幅度和相位误差信号，并且响应于直流幅度和相位误差信号来改变RF匹配网络的阻抗。匹配网络在第一模式下操作，直到确定调谐死区。一旦确定了调谐死区，匹配网络就在附加模式下操作，直到网络被调谐。控制器使用幅度和相位误差的合成值来驱动可变调谐和负载电容器。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 阻抗匹配 网络 控制 重新 调谐 | ||
【主权项】：
暂无信息
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