[发明专利]用于阻抗匹配网络控制的重新调谐

权利要求书

1.一种用于调谐阻抗匹配网络的方法，包括：

接收RF输入信号；

确定所述RF输入信号的电流值、电压值以及所述电流值和所述电压值之间的相位值；

确定相位误差值和幅度误差值；

使用两个或更多个模式执行所述匹配网络的调谐以调谐所述匹配网络，所述调谐包括：

执行第一调谐模式，包括：

基于所述幅度误差值来调整第一可变电容器的位置；以及

基于所述相位误差值调整第二可变电容器的位置；以及

确定是否已经出现死区；

如果在所述第一调谐模式中已经出现死区，则执行第二调谐模式，包括：

基于所述幅度误差值和所述相位误差值的第一合成值来调整所述第一可变电容器的位置；以及

基于所述幅度误差值和所述相位误差值的第二合成值来调整所述第二可变电容器的位置；以及

确定所述匹配网络是否已达到调谐状态；以及

如果所述匹配网络已经达到调谐状态，则执行所述第一调谐模式。

2.根据权利要求1所述的方法，其中所述第一合成值是通过将第一预定值与所述相位误差值的乘积，与第二预定值与所述幅度误差值的乘积相加来确定的，其中，所述第二合成值是通过将第三预定值与所述相位误差值的乘积，与第四预定值与所述幅度误差值的乘积相加来确定的。

3.根据权利要求2所述的方法，其中所述第一预定值、所述第二预定值、所述第三预定值和所述第四预定值中的每一个均是预定的实系数值。

4.根据权利要求2所述的方法，其中所述第一预定值、所述第二预定值、所述第三预定值和所述第四预定值中的每一个均包括至少一个分数值和一个整数值。

5.根据权利要求2所述的方法，其中所述第一可变电容器是负载电容器，基于公式：a1*相位_误差+a2*幅度_误差，对所述负载电容器进行调谐，其中，a1和a2为预定系数值，相位_误差为相位误差值，幅度_误差为幅度误差值。

6.根据权利要求2所述的方法，其中所述第一可变电容器是调谐电容器，基于公式：a1*相位_误差+a2*幅度_误差，对所述调谐电容器进行调谐，其中，a1和a2为预定系数值，相位_误差为相位误差值，幅度_误差为幅度误差值。

7.根据权利要求2所述的方法，还包括：

如果在所述第二调谐模式中已经出现死区，则执行第三调谐模式，包括：

基于所述幅度误差值和所述相位误差值的第一合成值来调整所述第一可变电容器的位置；以及

基于所述幅度误差值和所述相位误差值的第二合成值来调整所述第二可变电容器的位置；

确定所述匹配网络是否已达到调谐状态；以及

如果所述匹配网络已经达到调谐状态，则执行所述第一调谐模式。

8.根据权利要求2所述的方法，其中确定是否出现死区包括：

确认所述第一可变电容器或所述第二可变电容器的位置固定到位并且不移动，或者确认所述第一可变电容器或所述第二可变电容器在位置周围振荡。

9.根据权利要求2所述的方法，其中在所述第一调谐模式中，所述第一可变电容器沿第一方向移动，直到到达所述死区，并且在所述第二调谐模式中，沿与所述第一方向的相反方向移动所述第一可变电容器的位置。

10.根据权利要求2所述的方法，其中在所述第一调谐模式中，所述第二可变电容器沿第一方向移动，直到到达所述死区，并且在所述第二调谐模式中，沿与所述第一方向相反的方向移动所述第二可变电容器的位置。