[发明专利]沉积装置及沉积方法有效
| 申请号： | 201880084151.6 | 申请日： | 2018-10-19 |
| 公开（公告）号： | CN111542644B | 公开（公告）日： | 2023-05-30 |
| 发明（设计）人： | 南庆勋;郑勇华;严文钟;金兑烨;高景弼;郑宇城 | 申请（专利权）人： | 浦项股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/26;C23C14/14 |
| 代理公司： | 北京路浩知识产权代理有限公司 11002 | 代理人： | 刘成春;刘翠娥 |
| 地址： | 韩国庆*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供能够以规定的涂覆组成和速度连续涂覆的装置及方法，作为一个实施例，本发明提供一种沉积装置，其为在基板上涂覆2种以上的化合物或元素的沉积装置，包括：供应单元，将所述2种以上的化合物或元素以多个固体形式供应；加热单元，使从所述供应单元供应的固体熔融并蒸发，以形成蒸气；缓冲单元，与所述加热单元连接，并且所述蒸气停留在其中并，与之前生成的蒸气混合；以及喷嘴，与所述缓冲单元连接，并朝向基板形成开口。 | ||
| 搜索关键词： | 沉积 装置 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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