[发明专利]沉积装置及沉积方法

说明书

本发明提供能够以规定的涂覆组成和速度连续涂覆的装置及方法，作为一个实施例，本发明提供一种沉积装置，其为在基板上涂覆2种以上的化合物或元素的沉积装置，包括：供应单元，将所述2种以上的化合物或元素以多个固体形式供应；加热单元，使从所述供应单元供应的固体熔融并蒸发，以形成蒸气；缓冲单元，与所述加热单元连接，并且所述蒸气停留在其中并，与之前生成的蒸气混合；以及喷嘴，与所述缓冲单元连接，并朝向基板形成开口。

技术领域

本发明涉及一种涂覆2种以上的化合物或元素的沉积装置及方法。

背景技术

通过真空沉积来进行涂覆的相关技术从1980年代开始被公开。可以将现有的技术大致区分为同时沉积方式和顺序沉积后进行热处理的方式。

同时沉积方式的代表性技术在日本专利JPH02-125866A2中公开。作为涂覆蒸气压不同的两种金属合金的沉积装置，设置有各金属(锌和镁)专用蒸发槽，并且在每个蒸发槽出口安装有节流阀(throttle valve)，其控制蒸发的金属蒸气的流量。需要通过使用安装在锌和镁蒸发槽的节流阀调节各自的蒸发流量从而控制被涂覆的合金组成的方式，在各自蒸发的金属结合的部分在宽度方向上均匀混合，但是由于流体的流动性很难实现。为了克服所述缺点，在欧洲专利EP1301649B1中公开了在金属蒸气混合之前或之后通过保持阻塞(chocking)条件来尝试均匀混合，但是在实际过程中同样存在局限性。

顺序沉积后进行热处理的技术在欧洲专利EP0756022B1中公开。通过湿式镀覆或真空沉积方式进行涂覆锌后，通过真空沉积方式涂覆镁并进行热处理，从而形成锌-镁合金涂层。所述技术作为利用扩散的技术，涂层深度方向的组成不均匀，并且因热处理而生成母材和锌的合金。此外，由于用于涂覆合金的工艺的数量增加，从而在经济性方面存在局限性。

发明内容

(一)要解决的技术问题

本发明用于解决现有技术中存在的问题，其目的在于提供一种能够通过规定的涂覆组成和速度连续涂覆的装置和方法。

(二)技术方案

为了实现如上所述的目的，本发明提供如下的沉积装置及沉积方法。

作为一个实施例，本发明提供一种沉积装置，其为在基板上涂覆2种以上的化合物或元素的沉积装置，包括：供应单元，将所述2种以上的化合物或元素以多个固体形式供应；加热单元，使从所述供应单元供应的固体熔融并蒸发，以形成蒸气；缓冲单元，与所述加热单元连接，并且所述蒸气停留在其中并与之前生成的蒸气混合；以及喷嘴，与所述缓冲单元连接，并朝向基板形成开口。

在本发明的一个实施例中，所述供应单元通过供应管向所述加热单元供应固体，所述供应管可以包括延伸至所述加热单元的熔汤内部的加热单元侧端部，并且，所述供应管的加热单元侧端部可以形成有开口，所述开口小于所述固体的截面，以使供应的所述固体在通过所述熔汤熔融至少一部分后，从所述供应管排出。

在本发明的一个实施例中，所述加热单元可以包括坩埚，所述缓冲单元为连接所述喷嘴和所述坩埚的空间，所述开口的面积可以小于所述坩埚的截面。

在本发明的一个实施例中，所述供应单元可以包括：第一供应单元，供应第一固体；以及第二供应单元，供应元素或化合物与所述第一固体不同的第二固体。其中，所述第一供应单元和所述第二供应单元可以通过同一个所述供应管向所述加热单元供应固体。

在本发明的一个实施例中，所述第一供应单元和所述第二供应单元可以位于所述加热单元的上侧，从而在所述供应管中，所述固体通过自身重量来被供应至加热单元。

在本发明的一个实施例中，所述加热单元可以包括坩埚和设置在所述坩埚的内侧或外侧电磁线圈，并且，所述电磁线圈可以为非悬浮型感应加热单元，并且可以向垂直方向卷绕。

在一个实施例中，所述第一固体和所述第二固体可以分别包含锌、镁、铝、锂、铟、银以及铜中的一种以上。