[发明专利]检查装置及检查方法有效
| 申请号： | 201880082525.0 | 申请日： | 2018-11-27 |
| 公开（公告）号： | CN111527371B | 公开（公告）日： | 2022-07-08 |
| 发明（设计）人： | 岩见功司;岸田阳一 | 申请（专利权）人： | 日本电产理德股份有限公司 |
| 主分类号： | G01B11/00 | 分类号： | G01B11/00;G01R31/52;G01R31/54 |
| 代理公司： | 北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205 | 代理人： | 马爽;臧建明 |
| 地址： | 日本京都府京都*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供的检查装置及检查方法能够确保高检查精度。在检查装置中，基于第一基板距离和第二夹具距离算出第二距离，第一基板距离是由第一测距传感器测量的距基板的上表面的距离，第二夹具距离是由第一测距传感器测量的距第二夹具的检查面的距离，第二距离为第二夹具与上表面的距离，基于第二基板距离和第一夹具距离算出第一距离，第二基板距离是由第二测距传感器测量的距下表面的距离，第一夹具距离是由第二测距传感器测量的距第一夹具的检查面的距离，第一距离为第一夹具与下表面的距离，并基于第一距离及第二距离，设定第一夹具及第二夹具相对于基板的移位量。 | ||
| 搜索关键词： | 检查 装置 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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