[发明专利]检查装置及检查方法

说明书

本发明提供的检查装置及检查方法能够确保高检查精度。在检查装置中，基于第一基板距离和第二夹具距离算出第二距离，第一基板距离是由第一测距传感器测量的距基板的上表面的距离，第二夹具距离是由第一测距传感器测量的距第二夹具的检查面的距离，第二距离为第二夹具与上表面的距离，基于第二基板距离和第一夹具距离算出第一距离，第二基板距离是由第二测距传感器测量的距下表面的距离，第一夹具距离是由第二测距传感器测量的距第一夹具的检查面的距离，第一距离为第一夹具与下表面的距离，并基于第一距离及第二距离，设定第一夹具及第二夹具相对于基板的移位量。

技术领域

本发明涉及一种检查装置及检查方法，详细而言，涉及一种利用检查夹具自两面侧夹入薄板状的被检查基板来进行导通检查的检查装置及检查方法。

背景技术

以往，已知有使检查夹具的探针与作为被检查基板的印刷基板上所形成的配线图案接触，从而对配线图案进行导通检查的检查装置。在所述检查装置中，在上侧的检查夹具与下侧的检查夹具之间配置被检查基板，并利用各个检查夹具夹入被检查基板，由此使探针与被检查基板抵接(例如，参照专利文献1)。

在如上所述的检查装置中，当设定使各检查夹具接近被检查基板时的移位量(距离)时，将与被检查基板的高度位置相关的数据输入检查装置中，基于所述数据和预先设定的各检查夹具的高度位置数据来设定各检查夹具的移位量。而且，通过反馈各检查夹具在与被检查基板抵接时受到的反作用力，检查装置对各检查夹具的移位量进行控制。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本专利特开2000-55971号公报

发明内容

在以上述方式构成的检查装置中，根据被检查基板的种类，被检查基板的固定高度、检查夹具的大小也不同。因此，当变更被检查基板的种类来进行检查时，有可能在检查精度上产生偏差。

本发明是鉴于如上所述的状况而成，本发明所要解决的课题是提供一种即使在变更被检查基板的种类来进行检查的情况下，也能够确保高检查精度的检查装置及检查方法。

本发明为了解决所述课题，提供以下构成的检查装置及检查方法。

本发明的一例的检查装置是对于作为包括第一面以及第二面且为薄板状的检查对象物的被检查基板，利用自所述第一面侧接近的第一夹具与自所述第二面侧接近的第二夹具予以夹入来进行导通检查的检查装置，包括：第一测距传感器，与所述第一夹具一体地以朝向所述第二夹具侧的方式固定；第二测距传感器，与所述第二夹具一体地以朝向所述第一夹具侧的方式固定；第二距离算出部，基于第一基板距离和第二夹具距离来算出第二距离，所述第一基板距离是由所述第一测距传感器测量的距所述第一面的距离，所述第二夹具距离是由所述第一测距传感器测量的距所述第二夹具的距离，所述第二距离为所述第二夹具与所述第一面的距离；第一距离算出部，基于第二基板距离和第一夹具距离来算出第一距离，所述第二基板距离是由所述第二测距传感器测量的距所述第二面的距离，所述第一夹具距离是由所述第二测距传感器测量的距所述第一夹具的距离，所述第一距离为所述第一夹具与所述第二面的距离；以及移位量设定部，基于所述第一距离及所述第二距离，设定所述第一夹具及所述第二夹具相对于所述被检查基板的移位量。