[发明专利]乙炔基衍生的复合物、包含其的组合物、通过其制造涂层的方法以及制造包含该涂层的器件的方法在审
| 申请号： | 201880082279.9 | 申请日： | 2018-12-17 |
| 公开（公告）号： | CN111492310A | 公开（公告）日： | 2020-08-04 |
| 发明（设计）人： | 中杉茂正;滨祐介;柳田浩志;关藤高志;松浦裕里子 | 申请（专利权）人： | 默克专利有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/09 | 分类号： | G03F7/09;C08G8/02;C08G8/30 |
| 代理公司： | 北京三幸商标专利事务所(普通合伙) 11216 | 代理人： | 刘卓然 |
| 地址： | 德国达*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一个目的是提供一种具有良好耐热性的化合物。本发明的另一个目的是提供一种涂层，该涂层具有较小的膜收缩性，良好的间隙填充性能和良好的平坦性。本发明提供了乙炔基衍生的复合物和包含其的组合物。并且，本发明提供了用其制造涂层的方法以及制造器件的方法。 | ||
| 搜索关键词： | 乙炔 衍生 复合物 包含 组合 通过 制造 涂层 方法 以及 器件 | ||
【主权项】：
暂无信息
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