[发明专利]涡轮分子泵和用于控制处理室中压力的方法及设备有效
| 申请号： | 201880080603.3 | 申请日： | 2018-12-10 |
| 公开（公告）号： | CN111527311B | 公开（公告）日： | 2022-01-04 |
| 发明（设计）人： | J.A.海洛克;C.M.贝利;N.P.肖菲尔德 | 申请（专利权）人： | 爱德华兹有限公司 |
| 主分类号： | F04D19/04 | 分类号： | F04D19/04;F04D25/06;F04D27/02 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 刘桢;王丽辉 |
| 地址： | 英国西萨*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 公开了一种涡轮分子泵以及用于使用这种泵控制处理室中压力的方法和设备。该涡轮分子泵包括：转子，其包括在可旋转轴上的多个叶片；控制马达，其用于驱动可旋转轴；其中控制马达尺寸设计成输出以足够高的恒定速度驱动轴以提供5毫巴的排气压力所需的功率的三倍以上的功率。 | ||
| 搜索关键词： | 涡轮 分子 用于 控制 处理 压力 方法 设备 | ||
【主权项】：
暂无信息
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