[发明专利]树脂掩膜剥离用清洗剂组合物在审
| 申请号： | 201880079044.4 | 申请日： | 2018-11-07 |
| 公开（公告）号： | CN111448522A | 公开（公告）日： | 2020-07-24 |
| 发明（设计）人： | 久保元气 | 申请（专利权）人： | 花王株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/42 | 分类号： | G03F7/42;C11D1/722;C11D3/04;G03F7/20;B08B3/08;H05K3/06;H05K3/18 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 王永红 |
| 地址： | 日本国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： |
本发明提供一种树脂掩膜去除性优异且排水处理负担小的树脂掩膜剥离用清洗剂组合物。本发明在一个方案中涉及一种树脂掩膜剥离用清洗剂组合物，其含有无机碱(成分A)、下述通式(I)所示的表面活性剂(成分B)及水(成分C)，成分B的根据戴维斯法所得的HLB为4.9以上且7.9以下。R |
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| 搜索关键词： | 树脂 剥离 洗剂 组合 | ||
【主权项】：
暂无信息
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