[发明专利]用于衬底加工系统的平坦化膜及方法在审
| 申请号： | 201880078406.8 | 申请日： | 2018-10-29 |
| 公开（公告）号： | CN111432983A | 公开（公告）日： | 2020-07-17 |
| 发明（设计）人： | D·R·特洛伊 | 申请（专利权）人： | 崇硕科技公司 |
| 主分类号： | B24B37/34 | 分类号： | B24B37/34;B24B37/10;B24B37/30;B24B1/00;H01L21/304;H01L21/306 |
| 代理公司： | 北京纪凯知识产权代理有限公司 11245 | 代理人： | 张全信 |
| 地址： | 美国亚*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 公开了一种用于平坦化膜的方法和系统。一方面，该方法包括提供弹性膜并使用调节工具使膜的表面平坦化。平坦化的膜可用于晶圆的化学机械平坦化。该方法还包括用平坦化的膜修整晶圆的表面。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 衬底 加工 系统 平坦 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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