[发明专利]非对称平面外加速度计有效
| 申请号： | 201880077298.2 | 申请日： | 2018-08-27 |
| 公开（公告）号： | CN111417594B | 公开（公告）日： | 2021-07-27 |
| 发明（设计）人： | M·汤普森;H·乔哈里-加勒;L·巴尔达萨雷;S·尼灿;K·威廉姆斯 | 申请（专利权）人： | 应美盛股份有限公司 |
| 主分类号： | B81B5/00 | 分类号： | B81B5/00;G01P15/125;G01P15/08 |
| 代理公司： | 中国贸促会专利商标事务所有限公司 11038 | 代理人： | 王庆华 |
| 地址： | 美国加*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种微机电(MEMS)加速度计，其基于检测质量块围绕旋转轴线的平面外旋转来感测垂直于MEMS加速度计的MEMS装置平面的线性加速度。对称轴线垂直于旋转轴线。检测质量块包括关于对称轴线对称的对称部分，所述对称部分与关于对称轴线不对称的非对称部分相毗邻。 | ||
| 搜索关键词： | 对称 平面 外加 速度计 | ||
【主权项】：
暂无信息
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