[发明专利]非对称平面外加速度计

权利要求书

1.一种微机电加速度计，包括：

一个或多个锚固件；

位于微机电装置层内的检测质量块，所述检测质量块包括多个毗邻部分，所述多个毗邻部分响应于沿着感测轴线的线性加速度而围绕旋转轴线共同旋转，其中，所述检测质量块的所述多个毗邻部分包括：

关于对称轴线对称的对称部分，其中所述对称轴线垂直于所述旋转轴线；和

关于所述对称轴线不对称的非对称部分；以及

位于所述微机电装置层内的一个或多个弹簧，所述一个或多个弹簧将所述检测质量块联接到所述一个或多个锚固件，其中，所述一个或多个弹簧将所述检测质量块联接到所述一个或多个锚固件以使得所述检测质量块响应于沿着所述感测轴线的线性加速度而围绕所述旋转轴线旋转，并且其中，所述非对称部分既不延伸穿过所述旋转轴线，也不延伸穿过所述对称轴线。

2.根据权利要求1所述的微机电加速度计，其中，围绕所述旋转轴线的旋转使所述检测质量块移出微机电装置平面。

3.根据权利要求2所述的微机电加速度计，其中，所述对称部分响应于所述旋转而同时在所述微机电装置平面的上方和下方旋转，并且所述非对称部分在任何一个时间仅在所述微机电装置平面的上方或下方移动。

4.根据权利要求2所述的微机电加速度计，其中，所述检测质量块响应于所述微机电装置平面中的力而在所述微机电装置平面中经历旋转运动。

5.根据权利要求4所述的微机电加速度计，还包括多个缓冲挡块，其中所述多个缓冲挡块中的至少一个邻近所述非对称部分定位，以阻止所述微机电装置平面中的旋转运动。

6.根据权利要求5所述的微机电加速度计，其中，所述多个缓冲挡块中的所述至少一个响应于所述微机电装置平面中的旋转运动而以至少15度角与所述非对称部分接触。

7.根据权利要求1所述的微机电加速度计，其中，所述非对称部分的质量为所述对称部分的质量的至少20％。

8.根据权利要求1所述的微机电加速度计，其中，所述对称部分包括与所述一个或多个锚固件的至少三个侧面相邻的多个延伸部。

9.根据权利要求8所述的微机电加速度计，其中，所述非对称部分不与所述一个或多个锚固件的任何侧面相邻。

10.根据权利要求9所述的微机电加速度计，其中，所述多个延伸部的形状为基本上矩形的。

11.根据权利要求9所述的微机电加速度计，其中，所述非对称部分的形状为基本上矩形的。

12.根据权利要求1所述的微机电加速度计，还包括：

一个或多个第二锚固件；

位于所述微机电装置层内的第二检测质量块，所述第二检测质量块包括多个第二毗邻部分，所述多个第二毗邻部分响应于沿着所述感测轴线的线性加速度而围绕第二旋转轴线共同旋转，其中，所述第二检测质量块的所述多个第二毗邻部分包括：

关于第二对称轴线对称的第二对称部分，其中所述第二对称轴线垂直于所述第二旋转轴线；和

关于所述第二对称轴线不对称的第二非对称部分；以及

位于所述微机电装置层内的一个或多个第二弹簧，所述一个或多个第二弹簧将所述第二检测质量块联接到所述一个或多个第二锚固件，其中，所述一个或多个第二弹簧将所述第二检测质量块联接到所述一个或多个第二锚固件以使得所述第二检测质量块响应于沿着所述感测轴线的线性加速度而围绕所述第二旋转轴线旋转。

13.根据权利要求12所述的微机电加速度计，其中，所述第二检测质量块和所述检测质量块具有基本上相同的形状。

14.根据权利要求12所述的微机电加速度计，其中，所述第二检测质量块响应于所述线性加速度的旋转和所述检测质量块响应于所述线性加速度的旋转为反相的。