[发明专利]用于清洁或清洗产品的包含一级和二级表面活性剂的组合物在审
| 申请号： | 201880076649.8 | 申请日： | 2018-11-26 |
| 公开（公告）号： | CN111386332A | 公开（公告）日： | 2020-07-07 |
| 发明（设计）人： | I·C·周;A·克里普;B·费斯提尔 | 申请（专利权）人： | 巴斯夫欧洲公司 |
| 主分类号： | C11D1/835 | 分类号： | C11D1/835;C11D1/83;G03F7/40;C11D11/00 |
| 代理公司： | 北京市中咨律师事务所 11247 | 代理人： | 林柏楠;刘金辉 |
| 地址： | 德国莱茵河*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明描述一种用于清洁或清洗产品、优选在半导体行业中所用的产品的组合物，其包含含有一个或多个氟烷基的离子化合物作为一级表面活性剂，和至少一种含有一个或多个聚烷氧基和/或聚亚烷氧基的非离子化合物作为二级表面活性剂，以及该组合物的相应用途。本发明进一步描述一种生产经清洁或清洗的产品、优选在半导体行业中所用的产品的方法，该产品包含基板和其上所支撑的图案化材料层，该图案化材料层具有线宽为等于或低于50nm的线‑间隙结构，该方法包括用本发明的组合物清洁或清洗该产品的步骤。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 清洁 清洗 产品 包含 一级 二级 表面活性剂 组合 | ||
【主权项】：
暂无信息
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