[发明专利]感光性转印材料、树脂图案制造方法及布线制造方法在审
| 申请号： | 201880075097.9 | 申请日： | 2018-10-23 |
| 公开（公告）号： | CN111386498A | 公开（公告）日： | 2020-07-07 |
| 发明（设计）人： | 两角一真;藤本进二;汉那慎一;石坂壮二 | 申请（专利权）人： | 富士胶片株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/004 | 分类号： | G03F7/004;G03F7/023;G03F7/027;G03F7/039;G03F7/40;G03F7/42;G06F3/041 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 蒋亭 |
| 地址： | 日本国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供一种感光性转印材料、以及使用了上述感光性转印材料的树脂图案制造方法及布线制造方法，所述感光性转印材料依次具有临时支承体、中间层及感光层，上述中间层含有粘结剂及算术平均粒径为400nm以下的粒子。 | ||
| 搜索关键词： | 感光性 材料 树脂 图案 制造 方法 布线 | ||
【主权项】：
暂无信息
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