[发明专利]压力测量装置有效
| 申请号： | 201880075003.8 | 申请日： | 2018-10-24 |
| 公开（公告）号： | CN111373235B | 公开（公告）日： | 2021-12-07 |
| 发明（设计）人： | 雷内·齐尔曼;丹尼尔·希克斯藤森;丹尼斯·米勒 | 申请（专利权）人： | 恩德莱斯和豪瑟尔欧洲两合公司 |
| 主分类号： | H01L23/02 | 分类号： | H01L23/02 |
| 代理公司： | 中原信达知识产权代理有限责任公司 11219 | 代理人： | 蔡石蒙;车文 |
| 地址： | 德国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 描述了一种可成本有效地生产的压力测量装置，该压力测量装置包括载架(1)、布置在载架(1)上的支撑体(3)、布置在支撑体(3)上的压力传感器(5)、第一接合部(17)以及第二接合部(19)，该第一接合部(17)包含接合材料并连接支撑体(3)与压力传感器(5)，该第二接合部(19)包含接合材料并连接支撑体(3)与载架(1)，其中压力传感器被保护以免受热机械应力，其中支撑体(3)在其面向压力传感器(5)的端面侧上具有第一沟槽(21)，该第一沟槽(21)以这样的方式设计，即，使得第一沟槽(21)在外部完全包围支撑体(3)的面向压力传感器(5)的接合表面(23)，支撑体(3)的接合表面(23)和第一接合部(17)的基部表面基本上等大，或者纯粹小于压力传感器(5)的面向第一接合部(17)的基部表面。第一沟槽(21)的宽度(b)大于或等于150μm至1mm的最小宽度，并且第一沟槽(21)的深度(t)大于或等于0.3mm至2mm的最小深度。 | ||
| 搜索关键词： | 压力 测量 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
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