[发明专利]压力测量装置

权利要求书

1.压力测量装置，包括

载架(1)，

支撑体(3)，所述支撑体被布置在所述载架(1)上，

压力传感器(5)，所述压力传感器被布置在所述支撑体(3)上，

第一接合部(17)，所述第一接合部包括连接所述支撑体(3)与所述压力传感器(5)的接合材料，以及

第二接合部(19)，所述第二接合部包括连接所述支撑体(3)与所述载架(1)的接合材料，

其特征在于，所述支撑体(3)在面向所述压力传感器(5)的面上具有第一沟槽(21)，

所述第一沟槽以这样的方式实现，

即：使得所述第一沟槽(21)在所有侧面上在外部包围所述支撑体(3)的面向所述压力传感器(5)的第一接合区域(23)，

所述支撑体(3)的所述第一接合区域(23)和所述第一接合部(17)的占地面积基本上等大，并且明显小于所述压力传感器(5)的面向所述第一接合部(17)的基部区域，并且

所述第一沟槽(21)的宽度(b)大于或等于150μm至1mm的最小宽度，并且

所述第一沟槽(21)的深度(t)大于或等于0.3mm至2mm的最小深度，并且

被布置在所述支撑体(3)的面向所述载架(1)的面上的第二接合区域(29、33)大于或等于被布置在所述支撑体(3)的面向所述压力传感器(5)的面上的所述第一接合区域(23)。

2.根据权利要求1中所述的压力测量装置，其特征在于：

中间空间(25)形成无接合材料的中空空间，所述中间空间被布置在所述支撑体(3)的从外包围所述第一沟槽(21)的表面与所述压力传感器(5)的相对放置的表面之间，

所述支撑体(3)具有占地面积，所述占地面积大于或等于所述压力传感器(5)的面向所述第一接合部(17)的面的面积，并且/或者

所述第一接合部(17)和/或所述第二接合部(19)被实现为玻璃焊料、软焊料或粘性结合部。

3.根据权利要求1或2所述的压力测量装置，其特征在于：

所述压力传感器(5)的占地面积为1mm²至50mm²的数量级，

所述支撑体(3)的面向所述压力传感器(5)的所述第一接合区域(23)的尺寸为0.2mm²至20mm²，

所述载架(1)由金属构成，

所述支撑体(3)由包括金属陶瓷、氧化铝(Al₂O₃)、碳化硅(SiC)、氮化硅(Si₃N₄)、氮化铝(AlN)、玻璃或硅的材料构成，

所述支撑体(3)被实现为具有圆形、矩形或正方形的占地面积的基本上垫圈状或盘状的形体，并且/或者

所述支撑体(3)作为独立元件被直接布置在所述载架(1)上，或者作为独立元件被插入到所述载架(1)中的中空部(39)中，并且/或者

所述支撑体(3)的高度(H)大于或等于1mm，其中，所述高度(H)也大于或等于所述第一沟槽(21)的深度(t)的两倍。

4.根据权利要求1或2所述的压力测量装置，其特征在于：

所述支撑体(3)在面向所述载架(1)的面上具有第二沟槽(27)，所述第二沟槽在所有侧面上在外部包围所述支撑体(3)的面向所述载架(1)的所述第二接合区域(29)，

所述第二接合部(19)的占地面积基本上等于由所述第二沟槽(27)包围的所述第二接合区域(29)，

所述第二沟槽(27)的宽度(b)大于或等于150μm至1mm的最小宽度，并且

所述第二沟槽(27)的深度(t)大于或等于0.3mm至2mm的最小深度。