[发明专利]用于增大微机电系统活塞模式空间光调制器的效率和光带宽的方法和装置有效
申请号: | 201880072841.X | 申请日: | 2018-12-10 |
公开(公告)号: | CN111344621B | 公开(公告)日: | 2023-04-04 |
发明(设计)人: | A·J·弗吕林;J·N·哈尔 | 申请(专利权)人: | 德州仪器公司 |
主分类号: | G02B26/08 | 分类号: | G02B26/08;B81B3/00 |
代理公司: | 北京律盟知识产权代理有限责任公司 11287 | 代理人: | 林斯凯 |
地址: | 美国德*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 在用于增大微机电系统活塞模式空间光调制器的效率和光带宽的方法和装置中,一种示例性装置(100)包括:具有弹簧腿的电极(106);基电极(110);反射镜位移确定器,其用于确定与超过电极(106)的不稳定点的电极(106)的位移距离相对应的周期信号;以及电压源,其用于响应于周期信号向基电极(110)输出周期电压。所述周期电压促使弹簧腿根据周期电压改变电极(106)相对于基电极(110)的位移。所述位移包括超过不稳定点的距离。 | ||
搜索关键词: | 用于 增大 微机 系统 活塞 模式 空间 调制器 效率 带宽 方法 装置 | ||
【主权项】:
暂无信息
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