[发明专利]用于增大微机电系统活塞模式空间光调制器的效率和光带宽的方法和装置

权利要求书

1.一种用于增大微机电系统活塞模式空间光调制器中反射镜的位移的装置，所述装置包含：

具有弹簧腿的电极；

基电极；

接收器，其经配置以接收将所述电极移位一位移距离的指令；

反射镜位移确定器，其联接至所述接收器且经配置以响应于确定所述位移距离超过所述电极的不稳定点而确定与所述位移距离相对应的周期信号；以及

电压源，其用于响应于所述周期信号向所述基电极输出周期电压，所述周期电压促使所述弹簧腿根据所述周期电压改变所述电极相对于所述基电极的位移，所述位移包括超过所述不稳定点的距离。

2.根据权利要求1所述的装置，其进一步包括发射器，所述发射器用于向接收设备发送周期电压数据或采样数据中的至少一个。

3.根据权利要求1所述的装置，其中所述周期电压将允许所述电极移位超过所述不稳定点而不会塌陷。

4.根据权利要求1所述的装置，其中所述周期电压是数字脉冲信号或正弦信号中的至少一个。

5.根据权利要求1所述的装置，其中当所示指令用于小于所述电极的所述不稳定点的位移距离时：

所述反射镜位移确定器将确定与所述位移距离相对应的稳定信号；以及

响应于所述稳定信号，所述电压源将向所述基电极输出稳定电压以促使所述弹簧腿将所述电极移位到所述位移距离。

6.根据权利要求1所述的装置，其中所述电极联接至所述反射镜。

7.一种用于增大微机电系统活塞模式空间光调制器中反射镜的位移的方法，所述方法包含：

响应于确定像素的电极的位移距离超过所述电极的不稳定点而确定与所述位移距离相对应的周期信号；以及

响应于所述周期信号向基电极输出周期电压，所述周期电压促使所述电极的弹簧腿根据所述周期电压改变所述电极相对于所述基电极的位移，所述位移包括超过所述不稳定点的距离。

8.根据权利要求7所述的方法，其进一步包括向接收设备发送周期电压数据或采样数据中的至少一个。

9.根据权利要求7所述的方法，其中输出所述周期电压允许所述弹簧腿将所述电极移位超过所述不稳定点而不会塌陷。

10.根据权利要求7所述的方法，其中所述周期电压是数字脉冲信号或正弦信号中的至少一个。

11.根据权利要求7所述的方法，进一步包括：

当所述位移距离小于所述电极的所述不稳定点时：确定与所述位移距离相对应的稳定信号；以及响应于所述稳定信号，向所述基电极输出稳定电压以促使所述弹簧腿将所述电极移位到所述位移距离。

12.根据权利要求7所述的方法，其中所述电极联接至所述反射镜。

13.一种非暂时性计算机可读介质，其存储可由指令执行装置处理以促使所述装置执行包含以下步骤的方法的指令：

响应于确定像素的电极的位移距离超过所述电极的不稳定点而确定与所述位移距离相对应的周期信号；以及

响应于所述周期信号向基电极输出周期电压，所述周期电压促使所述电极的弹簧腿根据所述周期电压改变所述电极相对于所述基电极的位移，所述位移包括超过所述不稳定点的距离。

14.根据权利要求13所述的计算机可读介质，其中所述方法包括向接收设备发送周期电压数据或采样数据中的至少一个。

15.根据权利要求13所述的计算机可读介质，其中输出所述周期电压允许所述弹簧腿将所述电极移位超过所述不稳定点而不会塌陷。