[发明专利]电子束检查工具和用于定位载物台的方法在审
| 申请号： | 201880072810.4 | 申请日： | 2018-11-05 |
| 公开（公告）号： | CN111328425A | 公开（公告）日： | 2020-06-23 |
| 发明（设计）人： | N·J·M·博世;P·P·亨佩尼尤斯;S·A·J·霍尔;M·K·M·巴格根 | 申请（专利权）人： | ASML荷兰有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/20 | 分类号： | H01J37/20 |
| 代理公司： | 北京市金杜律师事务所 11256 | 代理人： | 董莘 |
| 地址： | 荷兰维*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明涉及一种粒子束设备(1)，该粒子束设备(1)包括：粒子束源(210)，被配置为生成粒子束(202)；电磁线圈(2)，被配置为发射磁场以操纵粒子束；载物台(10)，被配置为保持衬底(300)；定位装置(20)，包括铁磁材料(11)，该定位装置还包括被配置为相对于粒子束定位载物台的至少一个电机(23，24)；以及控制器(30)，被配置为向至少一个电机提供控制信号以至少部分补偿作用在定位装置上的由磁场感应的磁力。 | ||
| 搜索关键词： | 电子束 检查 工具 用于 定位 载物台 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于ASML荷兰有限公司，未经ASML荷兰有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201880072810.4/，转载请声明来源钻瓜专利网。
