[发明专利]相对于对象物使移动体直线移动的装置及方法

摘要

本发明提供一种相对于对象物使移动体直线移动的装置及方法，所述相对于对象物使移动体直线移动的装置包括：基体，相对于基板而直线移动，在移动方向上具有空开规定间隔的第一位置与第二位置；线性标度尺，沿着移动方向以规定间距设有多个刻度；以及各编码器头，配置于基体的第一位置、第二位置，检测对于第一位置、第二位置的线性标度尺的第一刻度编号、第二刻度编号；并且，一面使基体沿着线性标度尺移动，一面逐次利用各编码器头来检测第一刻度编号、第二刻度编号，根据规定间隔与第一刻度编号和第二刻度编号之间的标度尺上的距离的比率，控制基体的移动量。