[发明专利]输送用于等离子体消减的等离子体流的喷嘴及相关方法有效
| 申请号： | 201880064937.1 | 申请日： | 2018-10-01 |
| 公开（公告）号： | CN111149437B | 公开（公告）日： | 2023-08-15 |
| 发明（设计）人： | S.马尼;崔奫修;高灿奎 | 申请（专利权）人： | 爱德华兹有限公司 |
| 主分类号： | H05H1/34 | 分类号： | H05H1/34;H05H1/48;B05B1/00 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 刘桢;刘茜 |
| 地址： | 英国西萨*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 公开了一种用于输送等离子体流的喷嘴和方法。该喷嘴用于将等离子体流从等离子体发生器输送到反应腔室，该喷嘴包括：导管，该导管在入口与出口之间延伸，入口被布置成接收等离子体流，出口被布置成与反应腔室流体联接，该等离子体流由导管在入口与出口之间沿轴向方向输送，其中该喷嘴是导热的并且布置成接收水以由该喷嘴加热，该喷嘴中具有至少一个孔，该孔被布置成沿轴向方向递送加热的水以与等离子体流混合。以这种方式，水被引入喷嘴内的等离子体流中，这产生了氢和氧自由基，氢和氧自由基有助于提高消减装置的破坏率效率。这提供了一种特别安全和方便的方法来提高破坏率效率，因为不需要向喷嘴提供可燃材料来产生那些自由基。 | ||
| 搜索关键词： | 输送 用于 等离子体 消减 喷嘴 相关 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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