[发明专利]输送用于等离子体消减的等离子体流的喷嘴及相关方法有效
申请号: | 201880064937.1 | 申请日: | 2018-10-01 |
公开(公告)号: | CN111149437B | 公开(公告)日: | 2023-08-15 |
发明(设计)人: | S.马尼;崔奫修;高灿奎 | 申请(专利权)人: | 爱德华兹有限公司 |
主分类号: | H05H1/34 | 分类号: | H05H1/34;H05H1/48;B05B1/00 |
代理公司: | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人: | 刘桢;刘茜 |
地址: | 英国西萨*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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搜索关键词: | 输送 用于 等离子体 消减 喷嘴 相关 方法 | ||
1.一种喷嘴,用于将等离子体流从等离子体发生器输送到发生消减反应的反应腔室,所述喷嘴包括:
导管,其在入口与出口之间延伸,所述入口被布置成接收所述等离子体流,其特征在于,所述出口被布置成与所述反应腔室流体联接,所述等离子体流由所述导管在所述入口和所述出口之间沿轴向方向递送,其中所述喷嘴是导热的,并且布置成接收液态水以使用所述喷嘴运行时的高温来将液态水转化为水蒸气,所述喷嘴具有在其中的多个孔,所述孔围绕所述喷嘴和所述导管中的至少一个周向定位,并且被布置成沿所述轴向方向递送所述水蒸气,以与所述等离子体流混合。
2.根据权利要求1所述的喷嘴,其中所述导管由壁限定,所述壁在其中限定所述孔,并且所述孔被布置成将被加热的水递送到所述导管中,以在所述等离子体流传送经过所述导管时与所述等离子体流混合。
3.根据权利要求1或2所述的喷嘴,其中,所述孔被布置成递送被加热的水,以在所述等离子体流传送到所述反应腔室中时与所述等离子体流混合。
4.根据权利要求1或2所述的喷嘴,其中所述孔被定向成将被加热的水在径向和切向中的至少一个方向递送到所述导管和所述反应腔室中的至少一个中。
5.根据权利要求1或2所述的喷嘴,其中所述孔被定向成将被加热的水轴向递送到所述导管和所述反应腔室中的至少一个中。
6.根据权利要求1所述的喷嘴,其中所述多个所述孔与同心围绕所述导管的通道流体联接,所述通道被布置成接收所述水以递送到所述多个所述孔。
7.根据权利要求6所述的喷嘴,其中所述通道包括用于接收所述水的入口。
8.根据权利要求1或2所述的喷嘴,其中所述导管包括限制件,所述限制件可操作来产生湍流以将被加热的水与所述等离子体流混合。
9.根据权利要求1或2所述的喷嘴,其中所述水包括水滴。
10.根据权利要求1或2所述的喷嘴,其中所述入口被布置成接收所述等离子体流和流出物流。
11.根据权利要求10所述的喷嘴,包括处理入口,所述处理入口被布置成将所述流出物流递送到所述入口。
12.一种等离子体消减设备,包括如权利要求1至11中任一项所述的喷嘴。
13.一种方法,包括:
使用喷嘴将等离子体流从等离子体发生器输送到发生消减反应的反应腔室,所述喷嘴包括在轴向方向在入口与出口之间延伸的导管,所述入口被布置成接收所述等离子体流,所述出口被布置成与所述反应腔室流体联接,其中所述喷嘴是导热的,并且所述方法包括由所述喷嘴接收液态水以使用所述喷嘴运行时的高温来将液态水转化为水蒸气,所述喷嘴中具有多个孔,所述孔围绕所述喷嘴和所述导管中的至少一个周向定位,并且所述方法包括在所述轴向方向上通过所述孔递送所述水蒸气,以与所述等离子体流混合。
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