[发明专利]经表面处理的研磨垫窗口及包含该窗口的研磨垫有效
| 申请号： | 201880064696.0 | 申请日： | 2018-08-06 |
| 公开（公告）号： | CN111183003B | 公开（公告）日： | 2022-03-04 |
| 发明（设计）人： | 尹晟勋;徐章源;安宰仁;尹锺旭;许惠映 | 申请（专利权）人： | SKC索密思株式会社 |
| 主分类号： | B24B37/20 | 分类号： | B24B37/20;B24B37/013 |
| 代理公司： | 上海弼兴律师事务所 31283 | 代理人： | 薛琦 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 实施方案涉及用于研磨垫的经表面处理的窗口，其能够防止在CMP工艺中由于窗口的磨损而在检测终点时可能发生的误差，以及包含该窗口的研磨垫。 | ||
| 搜索关键词： | 表面 处理 研磨 窗口 包含 | ||
【主权项】：
暂无信息
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