[发明专利]压力传感器组件、测量设备和用于其制造的方法有效
| 申请号： | 201880062685.9 | 申请日： | 2018-07-16 |
| 公开（公告）号： | CN111148979B | 公开（公告）日： | 2022-03-08 |
| 发明（设计）人： | F·古法尔特;V·拉贾拉曼;L·绍丹;C·霍伊瑟曼;T·克劳斯;E·舍尔克斯 | 申请（专利权）人： | 罗伯特·博世有限公司 |
| 主分类号： | H01L29/84 | 分类号： | H01L29/84;G01L19/00 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人： | 侯鸣慧 |
| 地址： | 德国斯*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种压力传感器组件(10)，该压力传感器组件具有至少一个压力传感器装置(12)，所述压力传感器装置(12)构造有至少一个传感器元件(20)，该传感器元件布置在承载结构(16)的空腔(18)中，其中，在所述承载结构(16)上集成有信号处理元件，其中，所述至少一个传感器元件(20)能够嵌入到承载结构(16)中以成为压力传感器装置(12)，其中，所述承载结构(16)通过连接盘网格阵列/模具预成型结构(LGA/MPM)形成。所述压力传感器装置(12)插入到设有膜片(32)的传感器壳体(30)中并且支撑在该传感器壳体中，其中，设有至少一个膜片(32)的所述传感器壳体(30)的剩余容积通过不能压缩的流体填满，所述压力传感器装置(12)电连接在所述传感器壳体的布线上。此外，本发明涉及一种用于制造这种压力传感器组件(10)的方法和一种测量设备。 | ||
| 搜索关键词： | 压力传感器 组件 测量 设备 用于 制造 方法 | ||
【主权项】：
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