[发明专利]压力传感器组件、测量设备和用于其制造的方法

权利要求书

1.压力传感器组件（10），该压力传感器组件具有至少一个压力传感器装置（12），其中，所述压力传感器装置（12）设置有至少一个传感器元件（20），该传感器元件布置在承载结构（16）的空腔（18）中，其中，所述至少一个传感器元件（20）与所述承载结构（16）嵌入成所述压力传感器装置（12），其中，所述压力传感器装置（12）插入到设有膜片（32）的传感器壳体（30）中并且支撑在该传感器壳体中，并且，其中，设有至少一个膜片（32）的所述传感器壳体（30）的剩余容积被不能压缩的流体填充，所述压力传感器装置（12）电连接在所述传感器壳体的布线上，其中，在所述承载结构（16）上集成有专用集成电路（24）的信号处理元件，并且，其中，所述承载结构（16）构造有连接盘网格阵列/模具预成型结构（LGA/MPM），使得在该连接盘网格阵列/模具预成型结构的一个结构侧上设置有电接触元件（26），而在该连接盘网格阵列/模具预成型结构的对置的、背离所述电接触元件（26）的结构侧上设置并且建立有用于布置所述传感器元件（20）的至少一个空腔（18）。

2.根据权利要求1所述的压力传感器组件，其中，所述传感器元件（20）设置并且建立为APSM（先进的多孔硅MEMS）传感器元件（20）。

3.根据前述权利要求中任一项所述的压力传感器组件，其中，所述承载结构（16）设有另外的无源电结构（22），所述无源电结构插入到该承载结构的衬底（14）中。

4.根据权利要求1或2所述的压力传感器组件，其中，在所述膜片（32）的背离所述传感器壳体（30）的一侧上布置有机械保护件（48），该机械保护件间接地遮盖所述膜片（32）。

5.根据权利要求1或2所述的压力传感器组件，其中，所述不能压缩的流体构造为油。

6.根据权利要求1或2所述的压力传感器组件，其中，所述不能压缩的流体设置在所述传感器壳体（30）内部，使得所述传感器元件暴露于等压的压力。

7.根据权利要求5所述的压力传感器组件，其中，所述不能压缩的流体构造为合成油。

8.用于制造根据前述权利要求中任一项所述的压力传感器组件（10）的方法，所述压力传感器组件具有至少一个压力传感器装置（12），所述方法至少具有下列方法步骤：

-通过提供传感器元件（20）、将所述传感器元件（20）布置在集成有至少一个信号处理元件的承载结构（16）的空腔（18）中并且随后将所述承载结构（16）与所述传感器元件（20）嵌入成所述压力传感器装置（12）来制造所述压力传感器装置（12），其中，所述承载结构（16）构造有连接盘网格阵列/模具预成型结构（LGA/MPM），使得在该连接盘网格阵列/模具预成型结构的一个结构侧上设置有电接触元件（26），而在该连接盘网格阵列/模具预成型结构的对置的、背离所述电接触元件（26）的结构侧上设置并且建立有用于布置所述传感器元件（20）的至少一个空腔（18）；

-将所述压力传感器装置（12）插入到要设有膜片（32）的传感器壳体（30）中并且将所述压力传感器装置（12）支撑在所述传感器壳体（30）中；

-将所述压力传感器装置（12）连接到所述传感器壳体（30）的电布线上，通过不能压缩的流体填充在所述传感器壳体（30）内部留下的剩余容积；

-通过膜片（32）或开口封闭件来封闭所述传感器壳体（30）。

9.根据权利要求8所述的方法，其中，具有所述传感器元件（20）的所述压力传感器装置（12）在嵌入到所述传感器壳体（30）中之前关于温度方面补偿。

10.根据权利要求8或9所述的方法，其中，所述压力传感器装置（12）的电连接部在所述压力传感器装置插入到所述传感器壳体（30）中之后在使用状态中背离所述膜片（32）地布置。