[发明专利]导电接触件以及具有其的各向异性导电片

摘要

本发明是有关于一种使用于检查半导体元件等的测试用插座等的各向异性导电片，更详细而言，本发明是有关于一种包括多个接触部及绝缘部的各向异性导电片，上述多个接触部具备导电弹簧及导电粉，上述绝缘部使邻接的接触部绝缘并支撑上述接触部。本发明提供一种各向异性导电片，配置在作为检查对象的元件与检查装置之间，将上述元件的端子与检查装置的接触垫彼此电连接。各向异性导电片包括：多个接触部，其配置在与上述元件的端子及检查装置的接触垫对应的位置，在厚度方向上具有导电性；及绝缘部，其使邻接的接触部彼此绝缘，并支撑接触部。并且，上述接触部包括：弹性基质；导电弹簧，其配置在上述弹性基质内；及多个导电粒子，沿上述弹性基质的厚度方向排列。本发明的特征在于，相比于在上述弹性基质的中心部，上述导电粒子以高密度配置在构成上述导电弹簧的线材的周边部。本发明将导电粒子集中配置在构成导电弹簧的线材的周边部，藉此具有可减少导电粒子的量，并且提高接触部的导电性的优点。