[发明专利]三氯硅烷制造装置以及三氯硅烷的制造方法在审
| 申请号： | 201880060343.3 | 申请日： | 2018-11-16 |
| 公开（公告）号： | CN111108065A | 公开（公告）日： | 2020-05-05 |
| 发明（设计）人： | 弘田贤次;荻原克弥 | 申请（专利权）人： | 株式会社德山 |
| 主分类号： | C01B33/107 | 分类号： | C01B33/107;B01D39/20 |
| 代理公司： | 北京信诺创成知识产权代理有限公司 11728 | 代理人： | 刘金峰 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明的目的为防止由在过滤器元件(80)部分产生的盐酸所引起的腐蚀及应力腐蚀破裂。三氯硅烷制造装置(1)包括生成三氯硅烷的反应装置(2)、以及去除反应残渣的过滤器装置(3)，并且所述过滤器装置(3)具备由耐腐蚀性材料构成的过滤器元件。 | ||
| 搜索关键词： | 硅烷 制造 装置 以及 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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