[发明专利]光束指向监测和补偿系统在审
| 申请号： | 201880058932.8 | 申请日： | 2018-09-04 |
| 公开（公告）号： | CN111065887A | 公开（公告）日： | 2020-04-24 |
| 发明（设计）人： | M·E·汉森;R·A·威尔克洛 | 申请（专利权）人： | ASML控股股份有限公司 |
| 主分类号： | G01B11/27 | 分类号： | G01B11/27;G03F7/20 |
| 代理公司： | 北京市金杜律师事务所 11256 | 代理人： | 傅远 |
| 地址： | 荷兰维*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 提供了一种用于光束指向监测和补偿的光学系统。根据实施例，一种光束指向监测和补偿系统包括表面等离激元共振(SPR)光学元件(800)。SPR光学元件包括具有第一表面(806)和第二表面(802)的光学元件(801)。光学元件的第一表面和第二表面基本上彼此平行。SPR光学元件还包括第一金属层(803)，其设置在光学元件的第二表面上；电介质层(805)，其设置在第一金属层上；以及第二金属层(807)，其设置在电介质层上。 | ||
| 搜索关键词： | 光束 指向 监测 补偿 系统 | ||
【主权项】：
暂无信息
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