[发明专利]光束指向监测和补偿系统

权利要求书

1.一种光束指向监测和补偿系统，包括：

表面等离激元共振SPR光学元件，包括：

光学元件，包括第一表面和第二表面，其中所述第一表面和所述第二表面基本上彼此平行；

第一金属层，设置在所述光学元件的所述第二表面上；

电介质层，设置在所述第一金属层上；以及

第二金属层，设置在所述电介质层上。

2.根据权利要求1所述的光束指向监测和补偿系统，其中所述光学元件包括透光材料。

3.根据权利要求1所述的光束指向监测和补偿系统，其中所述SPR光学元件被配置为接收辐射束，并且提供SPR反射辐射束。

4.根据权利要求3所述的光束指向监测和补偿系统，还包括：

光学检测器，被配置为接收所述SPR反射辐射束，并且测量所接收的SPR反射辐射束的强度。

5.根据权利要求3所述的光束指向监测和补偿系统，还包括：

光束指向补偿器，被配置为控制所述辐射束在所述SPR光学元件上的入射角。

6.根据权利要求5所述的光束指向监测和补偿系统，其中：

所述光束指向补偿器被配置为接收控制信号，以控制所述辐射束在所述SPR光学元件上的所述入射角，以及

所述控制信号基于所述入射角的测量而被确定。

7.一种系统，包括：

照射系统，被配置为提供辐射束；以及

光束指向监测系统，包括：

表面等离激元共振(SPR)光学元件，包括：

光学元件，包括第一表面和第二表面，其中所述第一表面和所述第二表面基本上彼此平行；

第一金属层，设置在所述光学元件的所述第二表面上；

电介质层，设置在所述第一金属层上；以及

第二金属层，设置在所述电介质层上；其中所述光束指向监测系统被配置为测量所述辐射束相对于所述光学元件的所述第二表面的法线的入射角。

8.根据权利要求7所述的系统，其中：

所述光学元件包括透光材料，以及

所述SPR光学元件被配置为接收辐射束，并且提供SPR反射辐射束。

9.根据权利要求8所述的系统，其中所述光束指向监测系统还包括光学检测器，被配置为接收所述SPR反射辐射束，并且测量所接收的SPR反射辐射束的强度。

10.根据权利要求8所述的系统，还包括：

光束指向补偿器，被配置为控制所述辐射束在所述SPR光学元件上的所述入射角，

其中所述光束指向补偿器被配置为接收控制信号以控制所述辐射束在所述SPR光学元件上的所述入射角，所述控制信号基于所述入射角的测量而被确定，并且所述入射角的所述测量基于所述接收的SPR反射辐射束的所述测量强度而被确定。

11.一种方法，包括：

使用辐射束照射表面等离激元共振(SPR)光学元件，其中所述辐射束以相对于所述SPR光学元件的法线的入射角入射在所述SPR光学元件上，并且所述SPR光学元件包括光学元件，所述光学元件包括第一表面和第二表面，所述第一表面和所述第二表面基本上彼此平行；

使用检测器检测从所述SPR光学元件反射的反射辐射束，其中所述SPR光学元件提供所述反射辐射束的SPR；

测量所述反射辐射束的强度；以及

确定所述入射角。

12.根据权利要求11所述的方法，还包括：

将控制信号传输到被配置为调整所述入射角的光束指向补偿器。

13.根据权利要求11所述的方法，还包括：

使用光束指向补偿器基于所述控制信号来调整所述入射角。