[发明专利]用于估计重叠的方法有效
| 申请号： | 201880058190.9 | 申请日： | 2018-08-20 |
| 公开（公告）号： | CN111095110B | 公开（公告）日： | 2022-04-22 |
| 发明（设计）人： | A·斯塔杰 | 申请（专利权）人： | ASML荷兰有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 北京市金杜律师事务所 11256 | 代理人： | 郑振 |
| 地址： | 荷兰维*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种用于确定重叠的方法。该方法包括获得涉及第一目标集合的初始重叠估计和关于第二目标集合的数据，其中针对目标的数据包括针对不同波长的组中的每一个波长的该目标的强度测量。该方法进一步包括使用该初始重叠估计对涉及第二目标集合的数据进行滤波，并且使用经滤波的数据来估计衬底上的重叠。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 估计 重叠 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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