[发明专利]用于估计重叠的方法

权利要求书

1.一种用于估计衬底上的重叠的方法，所述方法包括：

获得涉及第一目标集合的初始重叠估计；

获得关于第二目标集合的数据，其中针对目标的数据包括针对不同波长的组中的每一个波长的所述目标的强度测量；

使用所述初始重叠估计来选择针对所述第二目标集合中的至少一个目标的波长的子组；并且

使用涉及针对所述第二目标集合中的所述至少一个目标的所述波长的子组的数据来估计所述衬底上的重叠。

2.根据权利要求1所述的方法，进一步包括：获得关于所述第一目标集合的数据，并且将线性模型拟合至关于所述第一目标集合的数据，其中所述针对目标的数据包括所述目标在不同波长的组中的每个波长下的强度测量，并且根据所述线性模型所描述的梯度确定所述初始重叠估计。

3.根据权利要求2所述的方法，进一步包括：针对所述第一目标集合中的目标，确定针对所述波长的组中的每个波长的所述线性模型的偏移值，其中所述偏移值表示由于所述目标的物理缺陷对所述重叠的贡献。

4.根据权利要求3所述的方法，其中确定针对所述第一目标集合中的所述目标的每个波长的平均偏移值，并且将所述平均偏移值存储为参考信息，并且通过将涉及针对所述第二目标集合的所述波长的子组的数据与所述参考信息相比较，来估计所述衬底上的重叠。

5.根据权利要求4所述的方法，其中通过比对所述参考信息来执行针对所述第二目标集合的所述波长的子组的偏移值的最佳拟合分析，来实施所述比较，以确定所述拟合的残差，并且所估计的重叠对应于所计算的最小残差。

6.根据之前权利要求中任一项所述的方法，其中所述第一目标集合位于所述衬底的第一区域，并且所述第二目标集合位于所述衬底的第二区域。

7.根据权利要求6所述的方法，其中所述第一区域基本上位于所述衬底的中心，并且所述第二区域基本上位于所述衬底的边缘周围。

8.根据权利要求7所述的方法，其中所述第一区域是处于距所述衬底的中心大约小于或等于130nm的距离之内的区域，并且所述第二区域是具有距所述衬底的所述中心大于大约130nm的距离的区域。

9.根据权利要求1至5中任一项所述的方法，其中所述第二目标集合位于所述衬底上，并且所述第一目标集合位于至少一个其它衬底上。

10.根据之前权利要求中任一项所述的方法，其中获得有关所述第一目标集合的数据和/或有关所述第二目标集合的数据包括：

照射衬底上的相应目标集合中的目标，所述目标至少包括第一目标结构和第二目标结构，所述第一目标结构包括具有第一刻意重叠偏置的重叠周期性结构，所述第二目标结构包括具有第二刻意重叠偏置的重叠周期性结构；并且

检测被每个目标结构所散射的辐射，以针对每个目标结构获得强度非对称性测量，所述强度非对称性测量表示提供了针对该目标的数据的整体强度非对称性。

11.根据之前权利要求中任一项所述的方法，其中针对所述第二目标集合中的至少一个目标选择波长的子组包括：针对所述第二目标集合中的每个目标执行对所述波长的组的分析，并且确定针对每个波长的另一线性模型是否具有基本上对应于所述初始重叠估计的梯度。

12.根据权利要求11所述的方法，其中所述梯度的值处于所述初始重叠估计的至少大约1％至10％之内，而使得所述波长的子组包括至少2个或3个波长。