[发明专利]检查装置在审
申请号: | 201880057120.1 | 申请日: | 2018-09-11 |
公开(公告)号: | CN111095086A | 公开(公告)日: | 2020-05-01 |
发明(设计)人: | 赤羽贤俊;吉田升悟 | 申请(专利权)人: | 日本电产三协株式会社 |
主分类号: | G02F1/13 | 分类号: | G02F1/13;G01M11/00;G09F9/00 |
代理公司: | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人: | 沈捷 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 在本检查装置中,给检测对象物供电的供电部具有:与检测对象物的端子接触的多个接触探针(28);保持多个接触探针(28)的探针保持部(29);使探针保持部(29)以上下方向为转动的轴向转动的转动机构;以及使探针保持部(29)朝向上下方向、前后方向及左右方向移动的移动机构。探针保持部(29)固定于构成转动机构的一部分的减速机(38)的输出轴。探针保持部(29)形成有多个校正用孔(29b、29c),校正用孔(29b、29c)用于在以减速机(38)的输出轴为转动中心的转动方向上对齐探针保持部(29),并校正移动机构。由此,能够使多个接触探针相对于载置于载置部的检测对象物高精度地移动。 | ||
搜索关键词: | 检查 装置 | ||
【主权项】:
暂无信息
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