[发明专利]检查装置

权利要求书

1.一种检查装置，用于对检测对象物进行点亮检查，其特征在于，具有：

载置部，所述载置部在点亮检查时载置所述检测对象物；以及

供电部，所述供电部给载置于所述载置部的所述检测对象物供电，

所述供电部具有：

多个接触探针，多个所述接触探针与形成于所述检测对象物的供电用的端子接触；

探针保持部，所述探针保持部保持多个所述接触探针；

转动机构，所述转动机构使所述探针保持部以上下方向为转动的轴向转动；以及

移动机构，所述移动机构使所述探针保持部朝向上下方向、与上下方向正交的前后方向、与上下方向和前后方向正交的左右方向移动，

所述载置部与所述供电部在前后方向上相邻配置，

所述转动机构具有马达和将所述马达的动力减速并传递到所述探针保持部的减速机，

所述探针保持部固定于所述减速机的输出轴，

在所述探针保持部以在上下方向上贯通所述探针保持部的方式形成有多个校正用孔，多个所述校正用孔用于使所述探针保持部在以所述输出轴为转动中心的转动方向上相对于所述载置部对齐，并计算出所述探针保持在设计上通过所述移动机构移动时的移动方向与所述探针保持部实际上通过所述移动机构移动时的移动方向间的偏差。

2.根据权利要求1所述的检查装置，其特征在于，

所述供电部具有对形成于所述检测对象物的对准标记进行拍摄的照相机，

所述照相机安装于所述探针保持部。

3.根据权利要求1或2所述的检查装置，其特征在于，

在所述探针保持部形成有两个第一校正用孔作为所述校正用孔，所述第一校正用孔用于使所述探针保持部在以所述输出轴为转动中心的转动方向上对齐所述载置部，

从上下方向观察时，在连接两个所述第一校正用孔的中心的第一假想线的垂直平分线上配置有所述输出轴的轴心。

4.根据权利要求3所述的检查装置，其特征在于，

在所述探针保持部形成有一个第二校正用孔作为所述校正用孔，所述第二校正用孔用于计算出所述探针保持部在设计上通过所述移动机构移动时的移动方向与所述探针保持部实际上通过所述移动机构移动时的移动方向间的偏差，

从上下方向观察时，在所述第一假想线的垂直平分线上配置有所述第二校正用孔的中心。

5.根据权利要求4所述的检查装置，其特征在于，

所述载置部具有载置部件及定位并载置于所述载置部件的校正用夹具，

在所述校正用夹具形成有：

两个夹具侧第一校正用孔，两个所述夹具侧第一校正用孔用于在以所述输出轴为转动中心的转动方向上对齐所述探针保持部；

夹具侧第二校正用孔，从上下方向观察时，在连接两个所述夹具侧第一校正用孔的中心的第二假想线的垂直平分线上配置有所述夹具侧第二校正用孔的中心；

夹具侧第三校正用孔，所述夹具侧第三校正用孔在左右方向上配置在与所述夹具侧第二校正用孔相同的位置，且在前后方向上以与所述夹具侧第二校正用孔隔着间隔的状态配置；

夹具侧第四校正用孔，所述夹具侧第四校正用孔在前后方向上配置在与所述夹具侧第二校正用孔相同的位置，且在左右方向上以与所述夹具侧第二校正用孔隔着间隔的状态配置；以及

夹具侧第五校正用孔，所述夹具侧第五校正用孔在前后方向上配置在与所述夹具侧第三校正用孔相同的位置，且在左右方向上配置在与所述夹具侧第四校正用孔相同的位置。