[发明专利]用于喷射低温流体的装置

摘要

本文公开了用于处理微电子基板的表面的系统和方法，具体地，涉及用于通过用来处理微电子基板的暴露表面的低温流体混合物扫描微电子基板的装置和方法。具体地，本文公开了用于使流体混合物膨胀的改进的喷嘴设计。在一个实施方式中，喷嘴设计包括两个喷嘴件，这两个喷嘴件被组合以形成单个喷嘴设计，在该单个喷嘴设计中，这两个件略微不对准以形成独特的孔口设计。在另一实施方式中，这两个件被组合并且沿着流体导管的公共轴线对准。然而，偏移件被插入在这两个件之间，并且偏移件具有与另外两个件的流动导管不对准的孔。