[发明专利]集成式外延系统高温污染物去除在审
| 申请号： | 201880053441.4 | 申请日： | 2018-08-29 |
| 公开（公告）号： | CN111033680A | 公开（公告）日： | 2020-04-17 |
| 发明（设计）人： | 劳拉·哈夫雷查克;劳建邦;埃罗尔·C·桑切斯 | 申请（专利权）人： | 应用材料公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32;H01L21/67 |
| 代理公司： | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 | 代理人： | 徐金国;赵静 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本公开的实施一般性地关于改进的真空处理系统。在一个实施中，真空处理系统包含：第一传送腔室，所述第一传送腔室耦接到至少一个气相外延处理腔室、第二传送腔室、过渡站，所述过渡站被设置在所述第一传送腔室与所述第二传送腔室之间、等离子体清洁腔室，所述等离子体清洁腔室耦接至所述第一传送腔室或所述第二传送腔室以用于从基板的表面去除污染物，及装载锁定腔室，所述装载锁定腔室耦接至所述第二传送腔室。 | ||
| 搜索关键词： | 集成 外延 系统 高温 污染物 去除 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于应用材料公司，未经应用材料公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201880053441.4/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：具有旋卷罩的多层垫子
- 下一篇：拍摄对象追踪装置以及拍摄对象追踪方法
