[发明专利]扭矩检测器及扭矩检测器的制造方法有效
| 申请号： | 201880052321.2 | 申请日： | 2018-07-09 |
| 公开（公告）号： | CN110998265B | 公开（公告）日： | 2021-12-21 |
| 发明（设计）人： | 瀬戸祐希;石仓义之;小笠原里奈 | 申请（专利权）人： | 阿自倍尓株式会社 |
| 主分类号： | G01L3/10 | 分类号： | G01L3/10;G01L3/14 |
| 代理公司： | 北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205 | 代理人： | 杨文娟;臧建明 |
| 地址： | 日本东京千*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供一种扭矩检测器及扭矩检测器的制造方法。本发明包括：硅层(11)；电阻计(13)，形成于硅层(11)；槽部(111)，形成于硅层(11)的一面，使所述硅层(11)的形成有电阻计(13)的部位为薄壁部(112)；以及绝缘层(12)，与硅层(11)的一面接合。 | ||
| 搜索关键词： | 扭矩 检测器 制造 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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