[发明专利]扭矩检测器及扭矩检测器的制造方法有效
申请号: | 201880052321.2 | 申请日: | 2018-07-09 |
公开(公告)号: | CN110998265B | 公开(公告)日: | 2021-12-21 |
发明(设计)人: | 瀬戸祐希;石仓义之;小笠原里奈 | 申请(专利权)人: | 阿自倍尓株式会社 |
主分类号: | G01L3/10 | 分类号: | G01L3/10;G01L3/14 |
代理公司: | 北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205 | 代理人: | 杨文娟;臧建明 |
地址: | 日本东京千*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 本发明提供一种扭矩检测器及扭矩检测器的制造方法。本发明包括:硅层(11);电阻计(13),形成于硅层(11);槽部(111),形成于硅层(11)的一面,使所述硅层(11)的形成有电阻计(13)的部位为薄壁部(112);以及绝缘层(12),与硅层(11)的一面接合。 | ||
搜索关键词: | 扭矩 检测器 制造 方法 | ||
【主权项】:
暂无信息
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