[发明专利]从部件的表面受控地除去保护层的方法有效
| 申请号： | 201880046885.5 | 申请日： | 2018-05-14 |
| 公开（公告）号： | CN110997975B | 公开（公告）日： | 2022-09-09 |
| 发明（设计）人： | B.安德烈奧斯;C.克里斯托弗;P.斯普林 | 申请（专利权）人： | 英福康控股股份公司 |
| 主分类号： | C23C16/02 | 分类号： | C23C16/02;C23C16/44;H01J37/32 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 张华;杨戬 |
| 地址： | 瑞士巴*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 从部件(10)的表面受控地除去保护层(3)的方法(14)，其中所述部件包括：‑基体(1)；‑中间层(2)，其至少部分地覆盖基体；和‑所述的保护层(3)，其包括非晶固体，尤其是非晶非金属，尤其是非晶陶瓷，并且至少部分地覆盖中间层；其中所述方法包括以下步骤：‑使保护层(3)与蚀刻‑或溶解介质(4)接触(11)；和‑在蚀刻‑或溶解介质(4)的作用下除去(12)保护层(3)，直至露出中间层(2)；并且其中蚀刻‑或溶解介质产生保护层的第一蚀刻‑或溶解速度和中间层的第二蚀刻‑或溶解速度，并且其中第一蚀刻‑或溶解速度大于第二蚀刻‑或溶解速度。本发明进一步涉及替换部件上的旧的保护层的方法，操作薄层‑处理设备的方法，用于薄层‑处理设备中的部件和该部件的制造方法。 | ||
| 搜索关键词： | 部件 表面 受控 除去 保护层 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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C23 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
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