[发明专利]用于向陶瓷材料施加压缩应力的膜

摘要

本发明涉及用于向衬底提供压缩应力的方法，其包含在沉积温度(Td)下在陶瓷衬底上沉积膜以形成制品，在Td下，所述膜的热膨胀系数CTE相对于所述陶瓷衬底的CTE的差值为至少1.0×10‑6/K并且折射率差值0.10。通过将所述温度从Td降低或升高以达到与Td相差至少100℃的经过改变的温度(Tc)来在组成、相和微结构中的至少一个方面转换所述膜的厚度的至少一部分。膜转换条件产生这样的经过转换的膜部分：在所述Tc下，所述经过转换的膜的折射率与所述陶瓷衬底的折射率之间的差值≤|0.10|。然后将所述制品的所述温度降低到室温。