[发明专利]用于向陶瓷材料施加压缩应力的膜

权利要求书

1.一种用于向衬底提供压缩应力的方法，其包括：

在沉积温度(T_d)下在陶瓷衬底上沉积膜以形成制品，在所述T_d下，所述膜的热膨胀系数CTE相对于所述陶瓷衬底的CTE的差值为至少1.0×10^-6/K并且折射率差值大于()0.10；

转换所述膜，所述转换包括使温度从所述T_d降低或升高以达到与所述T_d相差至少100℃的经过改变的温度(T_c)，其中用于所述转换的条件使所述膜在以下中的至少一个方面在所述膜的厚度的至少一部分中变为经过转换的膜：(i)组成变化，其使得存在以下中的至少一项：氧含量增加至少(≥)10摩尔％、氮含量降低至少(≥)10摩尔％、碳含量降低至少(≥)10摩尔％；(ii)相变化；以及(iii)微结构变化，其中平均晶粒尺寸增加至少(≥)20％，使得在所述T_c下，所述经过转换的膜的所述折射率与所述陶瓷衬底的所述折射率的差值≤|0.10|；以及

将所述制品的温度从所述T_c降低到室温。

2.根据权利要求1所述的方法，其中所述衬底包括蓝宝石，并且其中在所述转换之前，所述膜包括AlON、ALN或SiON。

3.根据权利要求1所述的方法，其中所述转换包括使含碳气体、含氧气体或含氮气体中的一或多种气体流动。

4.根据权利要求1所述的方法，其中所述制品是光学透明的。

5.根据权利要求1所述的方法，其中所述衬底包括硅基玻璃、蓝宝石、氧化铝或尖晶石。

6.根据权利要求1所述的方法，其中所述经过转换的膜的所述部分经受压缩应力，并且其中所述衬底经受抗拉应力。

7.根据权利要求1所述的方法，其中所述制品包括蜂窝电话的显示屏。

8.根据权利要求1所述的方法，其中所述经过转换的膜的所述部分为10％到80％。

9.根据权利要求1所述的方法，其中在所述转换之后，所述膜的所述折射率与所述陶瓷衬底的所述折射率的所述差值≤|0.05|。

10.根据权利要求1所述的方法，其中在所述转换之后，所述膜中的压缩应力为1Mpa到10GPa。

11.根据权利要求1所述的方法，其中在所述转换之后，所述膜包含至少10％的铝。

12.一种蜂窝电话，其包括：

耦合到天线的射频RF部分，所述RF部分包含收发器、RF升频转换器和RF降频转换器，并且所述RF部分通过数模转换器DAC和模数转换器ADC耦合到至少一个处理器；

其中所述蜂窝电话的透明显示屏包含透明膜，所述透明膜的厚度的至少一部分包括在组成和相中的至少一个方面不同于下面的透明陶瓷衬底的材料，

其中所述膜的折射率与所述陶瓷衬底的折射率的差值≤|0.10|。

13.根据权利要求12所述的蜂窝电话，其中所述膜的所述折射率与所述陶瓷衬底的所述折射率的所述差值≤|0.05|。

14.根据权利要求12所述的蜂窝电话，其中所述膜的所述部分经受压缩应力，并且其中所述衬底经受抗拉应力。

15.根据权利要求12所述的蜂窝电话，

其中所述陶瓷衬底包括厚度范围为100微米到3mm的单晶蓝宝石衬底；

其中所述膜的所述部分包括α氧化铝或AlON多晶相，并且

其中所述膜中的压缩应力为1Mpa到10GPa。